一文带你看懂，中国DRAM产业进程曲折史

中科院专家原创40000字《DRAM芯片风云》专栏

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作者：二马路的冰

排版：Milly

出品：SOlab

深度好文，2607字=10分钟阅读

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中国大陆DRAM：

曲折中启航，再起航

如上所述，1970年Intel公司开始量产型号为C1103的1K bit DRAM。

➢1975年，北京大学物理系半导体研究组在109厂试制出中国大陆第一块1K bit DRAM，当然，量产和试制是两个不同的概念。之后，中国科研工作者试制出4K bit DRAM和16K bit DRAM。

➢1983年，华润集团与原四机部、七机部、外经贸部联合在香港设立微电子企业，即香港华科电子有限公司，是当时香港最大的集成电路制造厂家，建设了中国第一条4英寸晶圆生产线。同年，电子工业部决定从四川永川半导体研究所抽调500人，与国营江南无线电器材厂（742厂）共同组建无锡微电子科研生产联合体，攻关2-3微米工艺大生产技术。

➢1986年5月13日，742厂和无锡微电子研究中心（华润微电子有限公司的前身）采用3微米工艺，联合研制出型号为CM4846的64K bit DRAM。根据公开科学论文报道（联合研制组，64k 动态随机存贮器-CM4846，《固体电子学研究与进展》，1987年，第7卷第1期）：“电路的主要性能达到了国外同类产品的水平”。作为参考，1986年，日本NEC公司开发出世界第一块4Mbit DRAM。

弥足珍贵的CM4846 DRAM局部图片。图片来源：《固体电子学研究与进展》杂志。

➢1989年，以无锡微电子研究中心为基础的无锡华晶电子公司成立。

➢1990年8月，中国国务院将无锡华晶电子公司确定为中国半导体产业战略性发展工程单位。1990年10月，中国国务院实施“908工程”，总投资20亿元，其中15亿元用在无锡华晶电子，建设月产能1.2万片的6英寸晶圆厂，目标是在“八五”期间半导体技术达到1微米。1993年，无锡华晶（华润微电子有限公司的前身）制造出中国大陆第一块256K bit DRAM。

“908工程”审批用了2年，从美国朗讯引入生产线用了3年，加上建厂的2年，从立项到投产总共历时7年，到1998年初才验收了第一条生产线， “投产即亏损”。1997年亚洲金融危机爆发，无锡华晶只好退出DRAM产业。无锡华晶被誉为“中国芯片产业的黄埔军校”，据说为其他公司或政府部门培养的技术骨干和领导500多人。

随后，华科电子、无锡华晶、华润上华（开创了大陆晶圆专业代工模式。2004年香港上市，后又退出）、中航（重庆）微电子等公司经过一些列收购整合，组成了现在的华润微电子，成为一家功率半导体和传感器的IDM模式公司（Integrated Device Manufacture集成设备制造商，如三星），并在2020年2月27日登陆科创板。

“908”工程的结晶，华润微电子公司。图片来源：华润微官网。

➢1995年，“908工程”还在进行中，国家领导人参观了三星电子公司芯片生产线后，中国国务院于10月决定实施“909工程”。投资100亿元，建设一条8英寸晶圆、从0.5微米工艺技术起步的芯片生产线。

1997年7月17日，上海华虹与NEC公司合作成立华虹NEC，建设了中国第一条8英寸晶圆生产线，由NEC 提供八英寸厂整厂0.35微米技术转移，主产品是64M bit DRAM。此次决策迅速。

1999年，华虹NEC开始量产64Mbit DRAM。

2000年销售额达30.15亿元，利润达5.16亿元，“投产即盈利”。

华虹NEC，909工程的实施主体。图片来源：华虹。

但是，2001年DRAM产业遭遇了第二次DRAM大萧条，市场价格跌幅最高达51%，NEC公司自顾不暇，华虹NEC亏损了近14亿元。随后NEC参与成立日本尔必达后，退出了DRAM江湖。华虹因为资金和技术封锁等原因，无法建设12英寸晶圆生产线，只好退出DRAM产业，转型为代工厂，并成为二代身份证供应商。华虹的转型极为成功。

根据TrendForce集邦咨询发布的数据，2022年第一季度全球十大晶圆代工营收排名中，华虹排名第六。

➢1997年，张汝京从德州仪器提前退休，在中国台湾省创办了世大半导体公司。2000年，世大半导体公司在被台积电收购。同年张汝京来到上海市，和王阳元院士、300多位台湾同胞和100多位来自欧美日韩的同事，创立了中芯国际。

2000年8月1日中芯国际打下第一根桩，13个月后，2001年9月中芯国际建成投产。