2022年7月6日,中华人民共和国外交部发言人赵立坚主持了例行记者会。

彭博社记者提问关于193nm光刻机禁售问题。图片来源：外交部

彭博社记者提问：我社今日报道称，美国要求荷兰、日本禁止出口用于生产电脑芯片的深紫光刻机。你对此有何评论？中方是否会采取反制措施？如果阿斯麦、尼康等公司停止对华出售光刻机，中方是否会对相关企业采取反制措施？

赵立坚回应：这是美方滥用国家力量，倚仗技术霸权搞“胁迫外交”的又一例证，这也是典型的技术恐怖主义。在当前全球化背景下，美方一再将科技和经贸问题政治化、工具化、意识形态化，对别国搞“技术封锁”“技术脱钩”。这只会让其他国家更加警醒，在技术上一味依靠美国行不通，也会促使各国加快实现科技自主自立自强。企图堵别人的路，最终只会堵死自己的路。我们希望有关方面秉持客观、公正立场，从自身长远利益和公平公正市场原则出发，独立自主作出决定。

外交部发言人赵立坚回应193nm光刻机禁售问题。图片来源：外交部

“光刻机与氢弹哪个更难造”的问题已经讨论多时，仁者见仁，智者见智。2021年，我国芯片进口额近4400亿美元，是原油进口额的两倍。这个数据足以说明中国芯片产业对中国国民经济发展的重要性。先进光刻机对中国芯片产业的重要性也毋庸多言。

这里说的先进光刻机包括两类：一类是EUV光刻机，另外一类是193nm光刻机。前者是7nm及以下先进芯片制造必不可少的工具；后者是90-14nm成熟芯片制造必不可少的工具。后者也分为两类，一类是干式的，用于65nm及以上的硅片光刻，另一类是水浸没式的（最后一面镜子和待光刻的硅片之间注满去离子水），用于45nm及以下的硅片光刻。

目前全球的先进光刻机厂商有荷兰的ASML、日本的Nikon和Canon、以及上海微电子装备(集团)股份有限公司(简称SMEE)。EUV光刻机只有ASML可以制造。当然，干式和水浸没式的193nm光刻机也是ASML的主流销售产品。日本的Nikon和Canon可以制造干式和水浸没式的193nm光刻机。SMEE已经研发出干式的193nm光刻机，分辨率达到90nm，但是还没有进入芯片生产线。

SMEE光刻机，图源：上海微电子

首先，简单介绍一下《瓦森纳协定》。《瓦森纳协定》全称为《关于常规武器和两用物品及技术出口控制的瓦森纳定》 (Wassenaar Arrangement on Export Controls for Conventional Arms and Dual-Use Good and Technologies)，1996年7月以西方国家为主的33个国家签署设立，并于1996年9月开始实施至今，并动态更新。《瓦森纳协定》旨在建立控制常规武器和高新技术贸易的出口控制机制。

2021年12月23日，《瓦森纳协定》的签署国家共有42个，包括：阿根廷、澳大利亚、奥地利、比利时、保加利亚、加拿大、克罗地亚、捷克共和国、丹麦、爱沙尼亚、芬兰、法国、德国、希腊、匈牙利、印度、爱尔兰、意大利、日本、拉脱维亚、立陶宛、卢森堡、马耳他、墨西哥、荷兰、新西兰、挪威、波兰、葡萄牙、韩国、罗马尼亚、俄罗斯联邦、斯洛文尼亚、斯洛伐克、南非、西班牙、瑞典、瑞士、土耳其、乌克兰、英国和美国。

是的，你没有看错，俄罗斯联邦是《瓦森纳协定》签署国，而乌克兰也是。

2021年版《瓦森纳协定》

理论上，《瓦森纳协定》的签署国家可以自行决定是否发放常规武器和两用物品及技术出口许可证，并在自愿基础上向其他签署国家通报有关信息，以提高所谓的出口透明度。实际上，《瓦森纳协定》签署国家通常都是严格执行共同确定的出口管制内容。属于《瓦森纳协定》管控的常规武器和两用物品及技术通常予以拒绝，不属于《瓦森纳协定》管控的常规武器和两用物品及技术则通常予以放行。

当然，也有个别罕见情况有时候会发生。比如，2019年7月，日本对韩国的出口管控光刻胶。当前，西方国家对俄罗斯联邦的芯片出口管控。也就是说，非常特殊的情况下，不属于《瓦森纳协定》管控的常规武器和两用物品及技术也会予以拒绝。

接着，看一下《瓦森纳协定》对先进光刻机的出口管控内容。