缅怀:《新时期我国信息技术产业的发展》对EUV光刻机的论述
芯片产业是支撑经济社会发展的战略性、基础性、先导性产业, 是引领新一轮科技和产业变革的关键力量,也是中国当前急需重点突破的“卡脖子”领域。
江泽民同志一直高度重视芯片产业的发展。2008年10月,82岁的江泽民同志在《上海交通大学学报》第10期上发表了题为《新时期我国信息技术产业的发展》的重要文章。
该重要文章对改革开放以来我国信息技术产业发展的经验作了总结,对信息技术产业未来发展的前沿问题进行了研究。该重要文章共22页,分为五大部分,分别是:
1. 信息技术产业的地位和作用;
2. 世界信息技术产业发展趋势;
3. 我国信息技术产业发展特征;
4. 新时期信息技术产业发展战略;
5. 信息技术产业发展的若干政策措施。
江泽民同志指出,应当把信息技术产业政策放在经济政策体系的优先位置,突出政府的有效引导,明确战略方向,制定市场规则,完善体制机制,健全法律法规,营造良好的产业发展环境。
在该重要文章中,江泽民同志指出:“关键制造装备和测量仪器,这是决定微电子产业发展水平的必备条件,也是我国亟待突破的瓶颈。光刻机、刻蚀机、离子注入机是芯片制造的关键设备,在研制攻关样机的基础上,要实现规模化生产和应用,攻克下一代光刻技术(NGL)非常重要,有助于提高我国纳米级集成电路的起点。研制中的极紫外光刻技术,可以通过光源的波长变化、多镜反射,实现线宽缩小”。
该重要文章还给出了EUV光刻机的原理简图。
2019年,EUV光刻机正式投入7nm芯片生产。当前,EUV光刻机是5nm和3nm芯片生产的主流光刻工具。
敬爱的江泽民同志的这篇重要文章对当前和未来中国芯片产业的发展起到重要的指导作用。
EUV光刻机
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